请教个有点生僻的问题

CMLX
Jerry 2019-10-12 字数 56

DUV的激光是193nm的ArF氟化氩

EUV的激光是13nm左右的?什么?

PocketLife 掌上智能
3 个回复
nlgdczm
xxx 2019-10-12

见本青之前的发帖咨询:http://m.newsmth.net/article/PocketLife/2911967

【 在 CMLX 的大作中提到: 】

: DUV的激光是193nm的ArF氟化氩

: EUV的激光是13nm左右的?什么?

CMLX
Jerry 2019-10-12

谢谢,不过还是不知道13nm激光的光源

【 在 nlgdczm 的大作中提到: 】

: 见本青之前的发帖咨询:http://m.newsmth.net/article/PocketLife/2911967

: 【 在 CMLX 的大作中提到: 】

: : DUV的激光是193nm的ArF氟化氩

nlgdczm
xxx 2019-10-12

可以微电子版发帖问问。

【 在 CMLX () 的大作中提到: 】

: 谢谢,不过还是不知道13nm激光的光源

: 【 在 nlgdczm 的大作中提到: 】