国产光刻机水平

zhengshuoyan
干嘛呢 2020-05-20 字数 376

国产深紫外浸入式光刻机(DUV)在今年就要下线了,其中:

1.由上海微电子负责总体集成,超精密光栅系统来自中国科学院上海光学精密机械研究所。

2.光刻机物镜组来自北京国望光学。

3.光源来自科益虹源。

4.浸液系统来自浙江启尔机电。

5.双工件台来自华卓精科。

这个光刻机的套刻精度为4纳米,可以适用于11纳米曝光。由双工件台技术指标可以得知这个光刻机每小时可以曝光160—180片12英寸晶片。

ITExpress IT业界特快
66 个回复
choicee
choicee 2020-05-20

拭目以待,全国人民的眼睛都盯着呢

【 在 zhengshuoyan 的大作中提到: 】

: 国产深紫外浸入式光刻机(DUV)在今年就要下线了,其中:

: 1.由上海微电子负责总体集成,超精密光栅系统来自中国科学院上海光学精密机械研究所。

: 2.光刻机物镜组来自北京国望光学。

: ...................

zhengshuoyan
干嘛呢 2020-05-20

以目前国内的工业水平,这个DUV光刻机应该是可以实现的

【 在 choicee 的大作中提到: 】

: 拭目以待,全国人民的眼睛都盯着呢

: 【 在 zhengshuoyan 的大作中提到: 】

: : 国产深紫外浸入式光刻机(DUV)在今年就要下线了,其中:

: ...................

twinstarking
站在希望的田野上 2020-05-20

上海微电子今年12月下线可生产11纳米的光刻机有生产7nm制程的潜力(多次曝光)

Crusade
kaka 2020-05-20

靠谱,上海微装是最有希望的国产光刻机厂家

【 在 zhengshuoyan 的大作中提到: 】

: 国产深紫外浸入式光刻机(DUV)在今年就要下线了,其中:

: 1.由上海微电子负责总体集成,超精密光栅系统来自中国科学院上海光学精密机械研究所。

: 2.光刻机物镜组来自北京国望光学。

: ...................

Crusade
kaka 2020-05-20

去年全国人民都盯着中芯国际的14nm工艺

【 在 choicee 的大作中提到: 】

: 拭目以待,全国人民的眼睛都盯着呢

: 【 在 zhengshuoyan 的大作中提到: 】

: : 国产深紫外浸入式光刻机(DUV)在今年就要下线了,其中:

: ...................

thickearth
厚土 2020-05-20

现在华力微和中芯国际都突破了14nm,关键看良品率

【 在 Crusade 的大作中提到: 】

: 去年全国人民都盯着中芯国际的14nm工艺

zaq12wsxcde3
zaq12wsxcde3 2020-05-20

但是设备和原材料都是美帝技术吧

【 在 thickearth 的大作中提到: 】

: 现在华力微和中芯国际都突破了14nm,关键看良品率

thickearth
厚土 2020-05-20

光刻机是荷兰的,其他设备是美国和日本各占一部分,刻蚀机应该是国产的,原材料大部分是日本的

【 在 zaq12wsxcde3 的大作中提到: 】

: 但是设备和原材料都是美帝技术吧

: :

kalar
眉花眼笑,贼忒兮兮 2020-05-20

【 在 zhengshuoyan 的大作中提到: 】

: 国产深紫外浸入式光刻机(DUV)在今年就要下线了,其中:

: 1.由上海微电子负责总体集成,超精密光栅系统来自中国科学院上海光学精密机械研究所。

: 2.光刻机物镜组来自北京国望光学。

: ...................

haiguimm
hz 2020-05-20

是不是真的,就怕是为了骗经费的.

BirdFans
魔力鸟 2020-05-20

4nm,超过荷兰了?大概率是吹牛的

【 在 zhengshuoyan 的大作中提到: 】

: 国产深紫外浸入式光刻机(DUV)在今年就要下线了,其中:

: 1.由上海微电子负责总体集成,超精密光栅系统来自中国科学院上海光学精密机械研究所。

: 2.光刻机物镜组来自北京国望光学。

: ...................

zhengshuoyan
干嘛呢 2020-05-20

就不能看清楚吗

荷兰的是EUV 差距还很大

【 在 BirdFans 的大作中提到: 】

: 4nm,超过荷兰了?大概率是吹牛的

thickearth
厚土 2020-05-20

套刻精度 和 曝光精度的区别

【 在 BirdFans 的大作中提到: 】

: 4nm,超过荷兰了?大概率是吹牛的

poxz3464
非花非雾 2020-05-20

原材料的生产设备呢?是不是都非美帝的?

【 在 thickearth 的大作中提到: 】

: 光刻机是荷兰的,其他设备是美国和日本各占一部分,刻蚀机应该是国产的,原材料大部分是日本的

nikezhang
难得糊涂 2020-05-20

如果不是是不是还要查工具的工具的工具?

【 在 poxz3464 (非花非雾) 的大作中提到: 】

:  原材料的生产设备呢?是不是都非美帝的?

:  【 在 thickearth 的大作中提到: 】

:  : 光刻机是荷兰的,其他设备是美国和日本各占一部分,刻蚀机应该是国产的,原材料大部分是日本的

:  --

spiritsun
love 2020-05-20

好像是超大转知乎的帖子?

【 在 zhengshuoyan 的大作中提到: 】

: 国产深紫外浸入式光刻机(DUV)在今年就要下线了,其中:

: 1.由上海微电子负责总体集成,超精密光栅系统来自中国科学院上海光学精密机械研究所。

: 2.光刻机物镜组来自北京国望光学。

: ...................

imyourdad
大放厥词,烎 2020-05-21

到底能工程化吗?外行人问下。

【 在 Crusade 的大作中提到: 】

: 去年全国人民都盯着中芯国际的14nm工艺

: 【 在 choicee 的大作中提到: 】

: : 拭目以待,全国人民的眼睛都盯着呢

: : 【 在 zhengshuoyan 的大作中提到: 】

leezhch
大帅哥 2020-05-21

砸钱就能啊。样机到能够稳定生产和供应的机器需要继续在试运行中调整,修改。

这事可以搞定的。

【 在 imyourdad 的大作中提到: 】

: 到底能工程化吗?外行人问下。

leezhch
大帅哥 2020-05-21

不可能。14年十四个院士上书最高决策层,才投资这些钱的。

有14个院士加最高决策者盯着。即使院士太老,知识结构跟不上不能鉴定。

设备如果到了中芯用不上,造不出芯片,立马拆穿。梁孟松还能帮他们捂着?然后你猜这些人的下场?

差一点需要继续追加经费改进可能。造假不可能。

【 在 haiguimm 的大作中提到: 】

: 是不是真的,就怕是为了骗经费的.