结构层厚度和工艺的选择

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云水流浪 2012-05-09 字数 151

微惯性器件

结构层厚度和采用哪种工艺是否有比较明晰的对应关系呢?比方说,表面工艺只能是5μm

以下,SOG目前只做60μm以上,其他的只能是SOI?

大家一起讨论下吧。

MEMS 微机电系统